當前標簽：多弧靶
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多弧靶技術領域本實用新型涉及一種真空離子多弧鍍膜機設備的關鍵部件——多弧靶。目前，國內外的真空離子多弧鍍膜機設備，大多數采用直徑50～100mm的圓形平面多弧靶，一臺鍍膜機需要配置幾個甚至幾十個這種靶，相應地還要配備幾個甚至幾十個引弧裝置和
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多弧靶技術領域本實用新型涉及一種真空離子多弧鍍膜機設備的關鍵部件——多弧靶。目前，國內外的真空離子多弧鍍膜機設備，大多數采用直徑50～100mm的圓形平面多弧靶，一臺鍍膜機需要配置幾個甚至幾十個這種靶，相應地還要配備幾個甚至幾十個引弧裝置和
