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束源爐在真空環境中，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍,蒸鍍法的加熱方式有電流加熱、電子束加熱、輻射加熱等，當蒸發源達到蒸發溫度后，會以分子、原子或團簇等自由程較大的狀態出現，這些粒子遇到溫度較低的基底時就會就會沉積形成薄膜，蒸鍍法有純度高
