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磁控濺射設備的主要用途
（1）各種功能性薄膜：如(ru)具有吸收、透射(she)、反射(she)、折射(she)、偏光等作用的薄膜。例如(ru)，低(di)溫(wen)沉積氮化硅減反射(she)膜，以提高太陽能電池的光電轉換效率。
（2）裝飾領域的應用(yong)，如各種全反射膜及半(ban)透明膜等(deng)，如手(shou)機外殼(ke)，鼠標等(deng)。
（3） 在微電(dian)子領域(yu)作為一種非熱式鍍膜技術(shu)，主要應用在化學氣相沉(chen)積（CVD）或金(jin)屬有(you)機
（4）化學氣相沉積(ji)(ji)（CVD）生長困難及不適用的材料薄膜(mo)沉積(ji)(ji)，而且(qie)可(ke)以(yi)獲得大(da)面積(ji)(ji)非常均(jun)勻的薄膜(mo)。
（5） 在光學(xue)領域：中頻(pin)閉合場非平衡磁控濺射技術也已在光學(xue)薄膜（如增透(tou)膜）、低輻(fu)射玻璃(li)和透(tou)明導電玻璃(li)等方面得到應(ying)用。特別是透(tou)明導電玻璃(li)廣泛應(ying)用于(yu)平板(ban)顯示器件、太陽能電池、微(wei)波與(yu)射頻(pin)屏蔽裝(zhuang)置與(yu)器件、傳感器等。
（6）在機械加工行業中，表面(mian)功能(neng)膜(mo)、超硬(ying)膜(mo)，自潤滑薄膜(mo)的(de)表面(mian)沉積(ji)技術自問世(shi)以來得到長足發展，能(neng)有效的(de)提(ti)高表面(mian)硬(ying)度、復(fu)合(he)韌(ren)性、耐磨損性和抗高溫化學(xue)穩定(ding)性能(neng)，從而大幅度地提(ti)高涂層(ceng)產品的(de)使用壽命。
