化學氣相沉積(ji)法制備金(jin)剛石涂層

金(jin)剛(gang)(gang)石(shi)是(shi)硬度高的固(gu)體(ti)物(wu)質(zhi)(zhi)(HV=100GPa),性(xing)質(zhi)(zhi)穩定(ding)，耐磨(mo)，但卻難以加工(gong)成各種所需的零件和制(zhi)(zhi)品。采用氣相沉積法(fa)制(zhi)(zhi)備(bei)金(jin)剛(gang)(gang)石(shi)涂層，可以使金(jin)剛(gang)(gang)石(shi)性(xing)質(zhi)(zhi)得以從分利用，同時也節約了成本。下面以金(jin)剛(gang)(gang)石(shi)涂層拉(la)拔模具的制(zhi)(zhi)備(bei)為例，簡單介(jie)紹化學氣相沉積法(fa)金(jin)剛(gang)(gang)石(shi)涂層的制(zhi)(zhi)備(bei)方法(fa)。