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隨著如今科技的發達，人們對鍍膜的要求越來越高。為了滿足這一需要，不少廠家推出了磁控濺射系統設備，這種設備對于改良鍍膜產品非常的有效，其能夠以高速、低溫、能夠濺射在任何材料上，是目前很多企業都有在使用的一種設備。
磁控濺射系統設備的穩定性，對所生成的膜均勻性、成膜質量、鍍膜速率等方面有很大的影響。磁控濺射系統設備的濺射種類有很多，按照使用的電源分，能夠分為直流磁控濺射，射頻磁控濺射，中頻磁控濺射等等。
直流磁控濺射所用的電源是直流高壓電源，通常在300～1000V，特點是濺射速率快，造價低，后期維修保養便宜。但是只能濺射金屬靶材，如果靶材是絕緣體，隨著濺射的深入，靶材會聚集大量的電荷，導致濺射無法繼續。因此對于金屬靶材通常用直流磁控濺射，由于造價便宜，結構簡單，目前在工業上應用廣泛。
射頻磁控濺射所用的射頻電源的頻率通常是13.56 MHz，可以解決直流磁控濺射不能濺射絕緣靶材的問題。射頻磁控濺射的特點是：絕緣靶材和金屬靶材都能濺射，膜層與基片的附著力強。但是由于結構裝置比較復雜，射頻電源價格昂貴，維修維護成本比較高，會對人體產生輻射，并且需要外部的匹配網絡等因素，不適合應用于工業生產。
磁控濺射系統設備市場前景如何
中頻磁控濺射常用于反應濺射，來制備金屬化合物薄膜，在腔體中除了氬氣外，另外加入少量反應氣體如：氮氣、氧氣等，使這些反應氣體的分子與靶材原子一起沉積到基片上，形成金屬化合物薄膜。
以上就是磁控濺射鍍膜設備按照電源劃分的濺射種類，希望能夠給廣大用戶帶來幫助。
