一、真空爐電器故障 

    （一）溫度異常，包括溫度過高報警，或顯示溫度無法達到設定值。

    太高溫度報警失靈提升方法：

    1.首先檢查工作區域的恒溫參數是否正常，參考其他正常使用恒溫器的所有參數證明。

    2.根據電路圖檢查相應工作區的固態繼電器輸出是否擊穿，用方法：斷電，用萬用表電阻測量固態繼電器輸出電阻兩點之間，正常阻力將達到幾兆瓦或更高，如果是擊穿，幾乎沒有阻力，必須用相同類型的新型號代替。

    3.在啟動電源的情況下，手抖動熱電偶探頭內相應的工作區域，查看相應的恒溫器是否顯示大范圍的跳動，如果出現這種現象，則熱電偶探頭接觸不良，需要更換新的的。

    顯示溫度低至小于設定值

    1.同樣，首先檢查工作區溫控器參數是否正常，是否有輸出信號。

    2.檢查相應工作區域內的熱電偶是否損壞。要檢查這些熱電偶是否良好，可將恒溫器上的熱電偶連接到恒溫器，并觀察溫度顯示。如果熱電偶確實損壞，必須更換。 （注意：如果更換的熱電偶是內腔里的，還會涉及到真空密封性能，另外詳解） 

    3.如果恒溫器，熱電偶沒有問題，需要測試加熱管是否正常運行。方法：電源打開后，按照電路圖開始加熱，直接用測試筆測試連接到導線的加熱管的相應工作區域（在白色高溫下的固體輸出線是）看是否有電。如果有電達到，還需要使用夾具來查看當前工作區域之間的當前差異，在正常情況下，差異不顯著。

    4.如果沒有電力到達，您必須逐一檢查電路的電路圖，看看斷電結束以及組件是否燒毀？

    （二）真空異常現象

    真空泵送或低壓

    1.首先確認廠房的真空氣源正常（-95KPa以上），壓縮空氣壓力正常，（正常使用范圍為0.4?0.6MPa）。

    2.檢查真空表是否正常，正常使用真空表，看參數是否正常？

    3.檢查門是否關閉，密封膜的門是否損壞，有變形，門被異物污染請仔細檢查！

    4.如果門沒有問題，請檢查管道，氣動閥門，熱電偶入口等位置的相應工作區域。通常在熱電偶的入口處出現更多，因為如果有熱電偶替換，經常會破壞真空密封性能，必須重新打AB膠來密封。

    二、真空爐機械結構故障

    1.門不緊，檢查鉸鏈門是否松動，扣是否變形，門密封損壞，門變形？

    2.風扇異常聲音，請仔細檢查風扇內的風機是否有異物，或固定電機電機螺絲松動。

    3.氣動閥無法動作，首先檢查對應的電磁閥是否能正常工作，壓縮空氣壓力是否達到工作要求？如果氣壓正常，且電磁閥也良好，則肯定是氣動閥本身壞了，必須更換新的。