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CVD設備
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真空退火爐設備加熱罩焚燒體系有選用多個高速燒嘴

2021-11-12 12:07:37

真空退火爐設備由爐門、爐門提高組織和爐門壓緊設備組成。爐門殼體由型鋼與板材焊接而成結實框架結構,內用 耐火纖維壓制模塊疊鋪而成,要求保溫性能好,重量輕等。爐門的提高設備選用電動設備,主要由爐門架、爐門 提高橫梁、減速機、鏈輪、傳動軸和軸承等部分組成,爐門升降經過減速器上正反傳動來帶動爐門的升降。爐門 提高減速器還配有剎車設備,可以有效避免爐門在升降進程中發生位移。爐門壓緊設備選用國內先進的繃簧式杠 桿壓緊結構,當爐子需求提高時,爐門的自重經過杠桿將爐門自動松開,并水平移出一段距離后上升,當爐門下 降到位時,由繃簧的彈力再經過杠桿將爐門水平移進到壓緊密封狀況,此種結構的壓緊設備使爐門上、下時無摩 擦發生,具有性能好、運用使命長的特點。

臥式真空退火爐設備是真空技術與電爐加熱技術相結合的熱處理設備。應用于冶金、機械、航天、電子、輕工等產業部分。如:半導體芯片燒結及退火處理、永磁合金制作、真空釬焊、真空除氣、金屬材料的無氧化亮光熱處理等工藝。由于設備可提供清潔無雜質的高真空狀況,加熱溫度平均且能夠控制,因而工藝條件優勝,可進步工件質量和成品率。

真空退火爐設備


真空退火爐設備加熱罩焚燒體系有選用多個高速燒嘴,沿加熱罩圓周錯位均布,燒嘴經過爐臺PLC工藝焚燒體系自動監控,火焰探測儀自動檢測燒嘴是否點著,并將信號送至電磁閥,必要時,可手動脫開燒嘴,退火工藝繼續進行。加熱進程由PLC監控。溫度控制:分別由爐臺和加熱罩測溫信號來調節和監視焚燒強度。加熱罩和爐臺的實踐溫度信號與控制器的設定值進行比較得出,或者由調節器連續控制馬達閥,或者由控制器給出OPEN(開)信號,馬達驅動閥敞開,反之給出CLOSE(關)信號,該閥就會平穩關上。

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