真空退火爐設備是(shi)在半(ban)導體器件制造中(zhong)使用(yong)的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)種工藝，其(qi)包(bao)括加熱多個(ge)半(ban)導體晶(jing)(jing)片(pian)(pian)(pian)以(yi)影響其(qi)電性能(neng)。熱處理是(shi)針對不同的(de)(de)(de)(de)效果而設計的(de)(de)(de)(de)。可以(yi)加熱晶(jing)(jing)片(pian)(pian)(pian)以(yi)激(ji)活摻雜劑(ji)，將薄(bo)(bo)膜轉換成(cheng)(cheng)薄(bo)(bo)膜或將薄(bo)(bo)膜轉換成(cheng)(cheng)晶(jing)(jing)片(pian)(pian)(pian)襯底(di)界面，使致密沉(chen)積的(de)(de)(de)(de)薄(bo)(bo)膜，改變生長(chang)的(de)(de)(de)(de)薄(bo)(bo)膜的(de)(de)(de)(de)狀態(tai)，修復注入(ru)的(de)(de)(de)(de)損傷，移動摻雜劑(ji)或將摻雜劑(ji)從一(yi)(yi)個(ge)薄(bo)(bo)膜轉移到(dao)另一(yi)(yi)個(ge)薄(bo)(bo)膜或從薄(bo)(bo)膜進入(ru)晶(jing)(jing)圓襯底(di)。

退火爐可以集成(cheng)到其他爐(lu)子(zi)處理(li)步驟中(zhong)，例如氧(yang)化，或者可以自己處理(li)。退(tui)火爐(lu)是由專門為加熱半導體(ti)晶片(pian)而設(she)計的(de)設(she)備完成(cheng)的(de)。退(tui)火爐(lu)是節(jie)能(neng)型(xing)周期式(shi)作(zuo)業(ye)爐(lu)，超節(jie)能(neng)結構，采用纖(xian)維結構，節(jie)電60%。

退火爐骨架由各種(zhong)型鋼焊接而成，外框用槽鋼作(zuo)(zuo)主梁，圍板(ban)采用冷薄板(ban)，臺車用槽鋼作(zuo)(zuo)主梁，底板(ban)及前后(hou)端板(ban)采用中板(ban)。

退火爐傳(chuan)動(dong)(dong)部分：臺(tai)車傳(chuan)動(dong)(dong)采用電動(dong)(dong)機(ji)、減(jian)速(su)機(ji)通(tong)過(guo)鏈條帶動(dong)(dong)前端一組(zu)主動(dong)(dong)輪傳(chuan)動(dong)(dong)。爐門(men)傳(chuan)動(dong)(dong)是(shi)采用蝸(gua)輪減(jian)速(su)機(ji)和電動(dong)(dong)機(ji)組(zu)合電動(dong)(dong)升降。

密(mi)封(feng)(feng)：臺車(che)與爐(lu)體密(mi)封(feng)(feng)采用迷宮式結(jie)構(gou)，并在臺車(che)兩(liang)側有自(zi)動(dong)沙封(feng)(feng)刀密(mi)封(feng)(feng)裝置。爐(lu)門密(mi)封(feng)(feng)采用滾道式壓(ya)緊和彈簧(huang)壓(ya)緊自(zi)動(dong)機構(gou)密(mi)封(feng)(feng)該爐(lu)爐(lu)體部分采用優(you)質耐火(huo)磚結(jie)構(gou)，保(bao)證爐(lu)膛密(mi)封(feng)(feng)性。在臺車(che)耐壓(ya)部分采用高鋁(lv)磚砌筑，下部均添保(bao)溫(wen)磚保(bao)溫(wen)。

退火爐(lu)燃燒系統：在(zai)(zai)油(you)爐(lu)兩側各安(an)裝數只燒咀，熱流在(zai)(zai)爐(lu)內(nei)往復循環，確(que)保爐(lu)溫均勻性。根(gen)據需要(yao)可(ke)選(xuan)定自動(dong)型和半自動(dong)型。

排煙預(yu)(yu)熱裝(zhuang)(zhuang)置：在(zai)(zai)爐(lu)后上端安(an)裝(zhuang)(zhuang)了排煙預(yu)(yu)熱裝(zhuang)(zhuang)置，爐(lu)內的煙氣通(tong)過(guo)預(yu)(yu)熱器時，由風(feng)機送入冷(leng)風(feng)進行預(yu)(yu)熱，再(zai)由管路送至(zhi)燒咀進行助燃，并在(zai)(zai)出口安(an)裝(zhuang)(zhuang)一只手動碟閥(fa)，該閥(fa)可調節爐(lu)內壓力。廣泛(fan)應(ying)用(yong)于化工(gong)、石(shi)油、食品(pin)、冶(ye)金、機械、輕工(gong)、電(dian)力、船舶、造紙(zhi)、礦山(shan)、醫藥(yao)、集中供(gong)熱等工(gong)業部門的加熱、冷(leng)卻、冷(leng)凝、蒸(zheng)發等工(gong)藝(yi)過(guo)程中。