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在真空退火爐設備檢漏時，除暫時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，調查真空表讀數有無變化。也可制造留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點今后進行維修（一般密封圈老化比較多），守時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、保持泵、分散泵油，如發現油遇水乳化，真空跌落，有必要更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。分散泵油油分散泵有積炭可用化學酸洗的辦法清洗。真空爐溫度規模廣，加熱元件多種可選，例如石墨、鉬、鎢、感應加熱等，在適宜的保護氣氛中，溫度可達2800℃，可適應不同材料的熱壓燒結；
多樣化真空系統配置，根據工藝挑選不同等級的真空度；設有充放氣系統，既能夠挑選在真空環境中進行熱壓燒結，也能夠挑選在惰性氣氛或復原氣氛中進行熱壓燒結；人性化配置，既能夠手動操作，也能夠實現智能操作；一爐多用，可作為單純的真空或氣氛燒結爐運用； 真空爐選要根據所要熱處理的零件化學成分和加熱溫度實現須滿足金屬氧化物與一氧化碳平衡分.解壓的關系并且要考慮一定的余地，不要尋求高的真空度，真空度過高不只會形成合金元素的揮發，并且會形成設備的配置進步投資費用增加。
冷卻形式：真空爐的冷卻有油冷和氣冷。目前主要以氣冷為主，因為氣冷對熱處理零件無任何污染和不良影響，油冷有外表微滲碳問題對質量有影響。處理后零件外表潔凈不需要清洗。所以在滿足冷.卻速度的條件下一般以氣冷淬火作為優先。氣冷的冷.卻速度主要受氣壓、流速與氣流的形式和散布等因素的影響，在進行挑選時要.全.面考慮。一般情況氣壓高、流速大、冷.卻速度快，即冷.卻速度是直接受到氣壓和流速的影響。別的氣冷時換熱器冷.卻水的流量大小對于實際冷.卻有明顯的影響。
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