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真空退火爐設備徹底消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無變質層的清潔表面。這對于那些在刃磨時僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口）切削性能的改善關系大。 對環境無污染，不需進行三廢處理。 真空爐爐溫測定、監控精度明顯進步。熱電偶的指示值與爐溫溫度達到±1.5°c。但爐內大批工件不同部位的溫差較大，若選用稀薄氣體強制循環，仍可控制在±5°c溫差范圍內。 機電一體化程度高。在溫度測控精度進步的基礎上，工件移動、氣壓調理、功率調理等均可預先編程設定，按步驟實施淬火和回火。 能耗明顯低于鹽浴爐。現代先進的真空爐加熱室選用優質隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內，節能效果明顯。
真空爐用途廣泛，爐型系列較多，這里以介紹周期作業式預抽真空爐為主。該類型真空爐由鋼板和型鋼組焊制成井式或箱式爐殼，爐襯選用節能型復合纖維或全纖維保溫結構，電熱元件選用耐高溫電阻合金元件布置于爐膛四周，爐罐選用耐高溫不銹鋼板自動密焊卷制，爐蓋選用雙水冷真空橡膠密封不銹鋼內保溫爐蓋。根據工藝需求配置真空密封風機。預抽真空爐內可裝備冷卻系統，將爐內熱氮抽出接冷氮進罐快冷循環系統。
真空退火爐的適用范圍：鈹銅、沖壓件、屏蔽罩、不銹鋼、白銅、洋白銅、黃銅、紫銅、金屬彈片、錫磷青銅、鉚合件、鉚釘、銀接點、銀銅復合片、銅觸點、雙金屬片、銀觸點等領域，產品熱處理外表面色彩不氧化。
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