真空退火爐設備是(shi)(shi)在半導體器件制造(zao)中使用的(de)(de)一種工藝，其包括加熱多(duo)個(ge)半導體晶(jing)片以影(ying)響(xiang)其電性能。熱處(chu)理是(shi)(shi)針對不同的(de)(de)效果而設計的(de)(de)。可以加熱晶(jing)片以激活摻(chan)雜劑，將(jiang)薄膜(mo)(mo)(mo)轉(zhuan)換(huan)成(cheng)薄膜(mo)(mo)(mo)或(huo)將(jiang)薄膜(mo)(mo)(mo)轉(zhuan)換(huan)成(cheng)晶(jing)片襯底界面，使致(zhi)密沉積(ji)的(de)(de)薄膜(mo)(mo)(mo)，改變生長的(de)(de)薄膜(mo)(mo)(mo)的(de)(de)狀態(tai)，修復注入(ru)(ru)的(de)(de)損(sun)傷，移動(dong)摻(chan)雜劑或(huo)將(jiang)摻(chan)雜劑從一個(ge)薄膜(mo)(mo)(mo)轉(zhuan)移到(dao)另一個(ge)薄膜(mo)(mo)(mo)或(huo)從薄膜(mo)(mo)(mo)進(jin)入(ru)(ru)晶(jing)圓襯底。

退火爐可(ke)以集成(cheng)到其(qi)他(ta)爐(lu)子處理(li)步驟中，例如氧化，或者可(ke)以自(zi)己處理(li)。退(tui)火(huo)爐(lu)是由(you)專門為加熱半導體(ti)晶(jing)片而設計的設備完成(cheng)的。退(tui)火(huo)爐(lu)是節(jie)(jie)能型周(zhou)期式作業爐(lu)，超(chao)節(jie)(jie)能結構，采用纖維結構，節(jie)(jie)電60%。

退火爐骨(gu)架由各種(zhong)型鋼(gang)焊接而成，外框用(yong)(yong)(yong)槽鋼(gang)作(zuo)主梁，圍板采用(yong)(yong)(yong)冷(leng)薄(bo)板，臺車用(yong)(yong)(yong)槽鋼(gang)作(zuo)主梁，底板及(ji)前后端板采用(yong)(yong)(yong)中(zhong)板。

退火(huo)爐傳(chuan)(chuan)(chuan)動(dong)部(bu)分：臺(tai)車傳(chuan)(chuan)(chuan)動(dong)采用電(dian)動(dong)機(ji)(ji)、減速機(ji)(ji)通過鏈條(tiao)帶動(dong)前端(duan)一組(zu)主動(dong)輪傳(chuan)(chuan)(chuan)動(dong)。爐門(men)傳(chuan)(chuan)(chuan)動(dong)是采用蝸輪減速機(ji)(ji)和電(dian)動(dong)機(ji)(ji)組(zu)合電(dian)動(dong)升降(jiang)。

密(mi)(mi)(mi)(mi)封(feng)：臺(tai)車(che)(che)與爐(lu)(lu)體密(mi)(mi)(mi)(mi)封(feng)采(cai)(cai)用(yong)迷宮式結構(gou)，并在臺(tai)車(che)(che)兩(liang)側有自動(dong)(dong)沙封(feng)刀密(mi)(mi)(mi)(mi)封(feng)裝置。爐(lu)(lu)門密(mi)(mi)(mi)(mi)封(feng)采(cai)(cai)用(yong)滾道式壓(ya)(ya)緊(jin)和彈簧壓(ya)(ya)緊(jin)自動(dong)(dong)機構(gou)密(mi)(mi)(mi)(mi)封(feng)該(gai)爐(lu)(lu)爐(lu)(lu)體部分(fen)(fen)采(cai)(cai)用(yong)優質耐(nai)火磚結構(gou)，保證爐(lu)(lu)膛密(mi)(mi)(mi)(mi)封(feng)性。在臺(tai)車(che)(che)耐(nai)壓(ya)(ya)部分(fen)(fen)采(cai)(cai)用(yong)高鋁磚砌筑，下部均(jun)添保溫磚保溫。

退火爐(lu)燃燒系(xi)統：在油爐(lu)兩(liang)側各安裝數(shu)只燒咀，熱流(liu)在爐(lu)內往復循環，確保爐(lu)溫均勻性。根據需要可選定自(zi)動型和半自(zi)動型。

排(pai)煙預熱裝(zhuang)置：在爐(lu)后上端安裝(zhuang)了排(pai)煙預熱裝(zhuang)置，爐(lu)內(nei)的煙氣通(tong)過預熱器時，由風機送入冷(leng)(leng)風進行預熱，再由管(guan)路送至燒咀進行助燃，并(bing)在出(chu)口(kou)安裝(zhuang)一只(zhi)手動(dong)碟閥，該閥可調節爐(lu)內(nei)壓力(li)。廣泛(fan)應用于化(hua)工、石(shi)油、食品、冶(ye)金、機械、輕(qing)工、電力(li)、船(chuan)舶、造紙、礦山、醫(yi)藥、集(ji)中供熱等工業部門的加熱、冷(leng)(leng)卻、冷(leng)(leng)凝、蒸發(fa)等工藝過程中。