真空退火爐設備是在半導體(ti)器件制造(zao)中使用的(de)一(yi)(yi)種(zhong)工(gong)藝，其(qi)包括加熱(re)多個半導體(ti)晶(jing)片(pian)以影響其(qi)電性能。熱(re)處理是針(zhen)對不(bu)同的(de)效(xiao)果(guo)而設計的(de)。可(ke)以加熱(re)晶(jing)片(pian)以激活摻雜劑，將薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)轉(zhuan)換成(cheng)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)或將薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)轉(zhuan)換成(cheng)晶(jing)片(pian)襯底界面，使致(zhi)密(mi)沉積(ji)的(de)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)，改變生長的(de)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)的(de)狀態，修復注入(ru)的(de)損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從(cong)一(yi)(yi)個薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)轉(zhuan)移到另一(yi)(yi)個薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)或從(cong)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)進(jin)入(ru)晶(jing)圓襯底。

退火爐可以集成(cheng)到其他爐子(zi)處理步驟中，例(li)如(ru)氧化，或者可以自己處理。退火爐是由(you)專門為(wei)加熱半導體(ti)晶片(pian)而(er)設(she)計的設(she)備完成(cheng)的。退火爐是節能(neng)型(xing)周(zhou)期式作業(ye)爐，超節能(neng)結構，采(cai)用(yong)纖維結構，節電(dian)60%。

退火爐骨架由各種型鋼(gang)焊接(jie)而成，外框用(yong)槽(cao)鋼(gang)作(zuo)主梁，圍板采用(yong)冷薄板，臺車用(yong)槽(cao)鋼(gang)作(zuo)主梁，底板及前后(hou)端板采用(yong)中(zhong)板。

退火爐傳動部分：臺車傳動采用(yong)電(dian)動機、減(jian)速機通過鏈(lian)條帶動前(qian)端一組(zu)主(zhu)動輪傳動。爐門傳動是(shi)采用(yong)蝸(gua)輪減(jian)速機和電(dian)動機組(zu)合電(dian)動升降。

密(mi)(mi)封(feng)(feng)(feng)：臺車與爐體密(mi)(mi)封(feng)(feng)(feng)采(cai)用(yong)迷(mi)宮式結構，并在(zai)臺車兩側(ce)有自(zi)動沙封(feng)(feng)(feng)刀(dao)密(mi)(mi)封(feng)(feng)(feng)裝置。爐門(men)密(mi)(mi)封(feng)(feng)(feng)采(cai)用(yong)滾道式壓緊和彈(dan)簧壓緊自(zi)動機構密(mi)(mi)封(feng)(feng)(feng)該爐爐體部(bu)分采(cai)用(yong)優質耐(nai)火(huo)磚(zhuan)結構，保(bao)證爐膛密(mi)(mi)封(feng)(feng)(feng)性(xing)。在(zai)臺車耐(nai)壓部(bu)分采(cai)用(yong)高鋁磚(zhuan)砌筑，下(xia)部(bu)均添保(bao)溫磚(zhuan)保(bao)溫。

退(tui)火爐燃(ran)燒(shao)系(xi)統：在油爐兩側各安裝數只燒(shao)咀(ju)，熱流在爐內往復循環，確保爐溫均勻性。根(gen)據需要可選定自動型和(he)半自動型。

排煙(yan)預熱(re)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)：在爐(lu)后(hou)上端安(an)裝(zhuang)(zhuang)了排煙(yan)預熱(re)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)，爐(lu)內(nei)的煙(yan)氣通過預熱(re)器時，由風機送入冷風進行預熱(re)，再由管路(lu)送至(zhi)燒咀進行助燃，并在出口安(an)裝(zhuang)(zhuang)一只手動碟(die)閥(fa)，該閥(fa)可調(diao)節爐(lu)內(nei)壓力。廣泛(fan)應用于化工、石油(you)、食品、冶(ye)金、機械、輕(qing)工、電力、船舶、造紙、礦山、醫藥、集中(zhong)供熱(re)等(deng)工業部門的加熱(re)、冷卻、冷凝(ning)、蒸(zheng)發等(deng)工藝過程中(zhong)。