真空退火爐設備是(shi)在半導體器件制(zhi)造(zao)中使用的(de)一種工(gong)藝，其包括加熱多個半導體晶(jing)片(pian)以影響其電性能。熱處(chu)理是(shi)針對不(bu)同的(de)效果而設(she)計的(de)。可以加熱晶(jing)片(pian)以激活摻雜(za)劑，將(jiang)薄膜(mo)轉換(huan)成薄膜(mo)或(huo)(huo)將(jiang)薄膜(mo)轉換(huan)成晶(jing)片(pian)襯(chen)底界面，使致密沉積的(de)薄膜(mo)，改變生長的(de)薄膜(mo)的(de)狀態，修復注(zhu)入(ru)的(de)損傷，移動摻雜(za)劑或(huo)(huo)將(jiang)摻雜(za)劑從一個薄膜(mo)轉移到另(ling)一個薄膜(mo)或(huo)(huo)從薄膜(mo)進(jin)入(ru)晶(jing)圓襯(chen)底。

退火爐可以集成到其(qi)他(ta)爐(lu)子(zi)處理(li)步驟中，例如氧化，或者(zhe)可以自己(ji)處理(li)。退火爐(lu)是(shi)由專門為(wei)加熱半導體(ti)晶片(pian)而設(she)計(ji)的設(she)備完成的。退火爐(lu)是(shi)節(jie)能(neng)型周(zhou)期式作業爐(lu)，超節(jie)能(neng)結(jie)構(gou)，采用纖維結(jie)構(gou)，節(jie)電60%。

退火爐(lu)骨架由(you)各種型鋼(gang)焊(han)接而成，外框用槽(cao)鋼(gang)作(zuo)主梁(liang)(liang)，圍(wei)板(ban)采用冷薄板(ban)，臺車用槽(cao)鋼(gang)作(zuo)主梁(liang)(liang)，底(di)板(ban)及前后(hou)端板(ban)采用中板(ban)。

退火爐(lu)傳動部分：臺車傳動采用(yong)電(dian)(dian)動機(ji)、減速機(ji)通過鏈條帶動前端(duan)一組主動輪(lun)傳動。爐(lu)門(men)傳動是采用(yong)蝸輪(lun)減速機(ji)和電(dian)(dian)動機(ji)組合(he)電(dian)(dian)動升(sheng)降(jiang)。

密(mi)封(feng)(feng)：臺車與(yu)爐體密(mi)封(feng)(feng)采用(yong)(yong)迷(mi)宮(gong)式(shi)結(jie)構(gou)，并(bing)在臺車兩側有自動沙封(feng)(feng)刀密(mi)封(feng)(feng)裝置。爐門密(mi)封(feng)(feng)采用(yong)(yong)滾道(dao)式(shi)壓(ya)緊和彈(dan)簧壓(ya)緊自動機(ji)構(gou)密(mi)封(feng)(feng)該爐爐體部(bu)分采用(yong)(yong)優(you)質耐火磚結(jie)構(gou)，保(bao)證爐膛(tang)密(mi)封(feng)(feng)性(xing)。在臺車耐壓(ya)部(bu)分采用(yong)(yong)高鋁磚砌(qi)筑，下部(bu)均(jun)添(tian)保(bao)溫(wen)磚保(bao)溫(wen)。

退火爐(lu)(lu)(lu)燃燒(shao)系統：在油爐(lu)(lu)(lu)兩側各安裝數只燒(shao)咀，熱(re)流在爐(lu)(lu)(lu)內往復循環，確(que)保爐(lu)(lu)(lu)溫均勻性。根據(ju)需(xu)要可選定自動型和半自動型。

排煙預(yu)(yu)熱(re)裝(zhuang)置：在(zai)爐后上端安(an)裝(zhuang)了排煙預(yu)(yu)熱(re)裝(zhuang)置，爐內的煙氣通過(guo)(guo)預(yu)(yu)熱(re)器時，由(you)(you)風(feng)(feng)機送(song)(song)入冷(leng)風(feng)(feng)進行預(yu)(yu)熱(re)，再(zai)由(you)(you)管路送(song)(song)至燒咀(ju)進行助燃(ran)，并在(zai)出(chu)口(kou)安(an)裝(zhuang)一只(zhi)手(shou)動碟閥，該(gai)閥可調節(jie)爐內壓力(li)。廣泛(fan)應用于化工(gong)(gong)、石油、食品、冶(ye)金(jin)、機械、輕工(gong)(gong)、電力(li)、船舶(bo)、造紙、礦(kuang)山、醫藥、集(ji)中供(gong)熱(re)等(deng)工(gong)(gong)業部門的加熱(re)、冷(leng)卻(que)、冷(leng)凝、蒸發等(deng)工(gong)(gong)藝過(guo)(guo)程中。