真空退火爐設備是在半(ban)導(dao)體器(qi)件制造中(zhong)使用的(de)(de)(de)一種工藝，其包括加熱多個(ge)半(ban)導(dao)體晶(jing)片以(yi)影響其電性能(neng)。熱處理是針對(dui)不同的(de)(de)(de)效果而設計的(de)(de)(de)。可以(yi)加熱晶(jing)片以(yi)激活摻(chan)雜(za)劑，將薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)轉(zhuan)換(huan)成(cheng)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)或將薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)轉(zhuan)換(huan)成(cheng)晶(jing)片襯(chen)底界(jie)面(mian)，使致(zhi)密(mi)沉積的(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)，改變生長的(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)的(de)(de)(de)狀態，修復注(zhu)入的(de)(de)(de)損傷，移動摻(chan)雜(za)劑或將摻(chan)雜(za)劑從(cong)一個(ge)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)轉(zhuan)移到另(ling)一個(ge)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)或從(cong)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)進(jin)入晶(jing)圓襯(chen)底。

退火爐可(ke)以集成到其他爐子處理(li)步驟中，例如氧化(hua)，或者(zhe)可(ke)以自己處理(li)。退(tui)(tui)火爐是由專門(men)為加熱半導體晶片而設(she)計的設(she)備完(wan)成的。退(tui)(tui)火爐是節能型周期式作業爐，超(chao)節能結構(gou)，采用纖維(wei)結構(gou)，節電60%。

退火爐(lu)骨架由各種型鋼焊接而成，外框用(yong)(yong)槽鋼作主梁(liang)，圍板(ban)(ban)(ban)采用(yong)(yong)冷薄板(ban)(ban)(ban)，臺(tai)車用(yong)(yong)槽鋼作主梁(liang)，底板(ban)(ban)(ban)及前后端板(ban)(ban)(ban)采用(yong)(yong)中板(ban)(ban)(ban)。

退火爐傳(chuan)(chuan)動(dong)(dong)部(bu)分：臺車傳(chuan)(chuan)動(dong)(dong)采(cai)用(yong)電動(dong)(dong)機、減速(su)(su)機通(tong)過鏈條帶(dai)動(dong)(dong)前端一(yi)組主動(dong)(dong)輪(lun)傳(chuan)(chuan)動(dong)(dong)。爐門傳(chuan)(chuan)動(dong)(dong)是(shi)采(cai)用(yong)蝸輪(lun)減速(su)(su)機和電動(dong)(dong)機組合電動(dong)(dong)升(sheng)降。

密(mi)封：臺(tai)車(che)與爐(lu)體(ti)密(mi)封采(cai)用迷宮(gong)式結(jie)構(gou)，并(bing)在臺(tai)車(che)兩側有(you)自動(dong)沙封刀密(mi)封裝置。爐(lu)門(men)密(mi)封采(cai)用滾道(dao)式壓緊和彈簧壓緊自動(dong)機構(gou)密(mi)封該(gai)爐(lu)爐(lu)體(ti)部分采(cai)用優質(zhi)耐火磚(zhuan)結(jie)構(gou)，保(bao)(bao)證爐(lu)膛密(mi)封性。在臺(tai)車(che)耐壓部分采(cai)用高鋁磚(zhuan)砌筑，下部均(jun)添保(bao)(bao)溫磚(zhuan)保(bao)(bao)溫。

退火爐燃燒系(xi)統：在油爐兩側各安裝數只燒咀(ju)，熱(re)流在爐內(nei)往(wang)復循環，確保爐溫均勻性。根據(ju)需要可選定自動(dong)型(xing)和半自動(dong)型(xing)。

排煙預熱裝置：在(zai)爐(lu)后上端安(an)裝了排煙預熱裝置，爐(lu)內(nei)的煙氣通過預熱器時(shi)，由風(feng)機送入冷風(feng)進行(xing)預熱，再由管路(lu)送至燒咀進行(xing)助燃，并在(zai)出口安(an)裝一只手動(dong)碟閥(fa)，該閥(fa)可(ke)調節爐(lu)內(nei)壓力。廣泛應用于化(hua)工(gong)、石油、食品、冶金、機械、輕(qing)工(gong)、電力、船舶(bo)、造紙、礦山、醫藥、集中(zhong)供熱等工(gong)業部門的加熱、冷卻、冷凝(ning)、蒸發等工(gong)藝過程中(zhong)。