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真空退火爐分罩式和塔式，罩式又分連續式和單罩和雙罩式。選用的材料有輕質粘土磚、高鋁澆注料、耐火纖維、高鋁磚等。
罩式退火爐結構為外罩、內罩和爐臺。爐臺是整個爐子的底座，是固定不動的。燒嘴分布在爐臺的兩側，為了使爐溫天然免疫，用的是小燒嘴。燒嘴前有高鋁磚擋磚，防止火焰噴到內罩上。
內外兩罩與爐臺是密封的，爐罩兩側用石棉板、硅藻土磚或是輕質粘土磚，外面用鋼架加固。罩子的下緣用耐火纖維，以此來密封槽下通水冷卻，這樣可延長使用壽命。爐臺下部用輕質粘土磚做基礎，也可以用輕質澆注料做隔熱層。
塔式退火爐內襯一般用230mm厚的輕質粘土磚砌筑。近年來，在塔式冷卻室廣泛采用噴吹冷卻器，消除了水直接冷卻的一些缺點，達到板面光亮和板形整齊，在爐子的入口入用耐火纖維制成密封的。但是用輕質粘土磚退水直接侵蝕承受不了，用高鋁澆注料可以避免水創冷的侵蝕，但高鋁澆注料要水泥量稍大些，這樣，能防止水直接冷卻，另外高鋁澆注料必須烘烤合理，把結晶水排出，完全能抵制水直接冷卻時脫落。
需要注意的是，高鋁澆注料烘烤時間不能低于5天，嚴格按照高鋁澆注料的烘烤曲線進行烘烤，就完全能抵御水直接沖刷的侵蝕。
塔式退火爐進行光亮處理后，采用高純度高鋁磚砌筑不與氫發生作用，不會污染保護氣體，砌筑方式為在爐子的低部幾層采用優質高鋁磚，隔熱部位用輕質粘土磚。因輕質粘土磚能增加爐子的吹刷放散時間。
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