運用磁控濺射鍍膜儀對環境有什么要求嗎?
由于要在特定條件下,因而磁控濺射鍍膜儀要滿意真空對環境的要求。擬定的各種磁控濺射鍍膜儀的行業規范(包括磁控濺射鍍膜儀通用技能條件、真空離子鍍膜設備、真空濺射鍍膜設備、真空蒸發鍍膜設備)都對環境要求作了明確規定。只有滿意了真空電鍍機對環境的要求,能使該設備正常運轉,加上正確的鍍膜工藝,方能生產出合格的鍍膜產品。
磁控濺射鍍膜儀對環境的要求,一般包括真空設備對地點實驗室(或車間)的溫度、空氣中的微粒等周圍環境的要求,和對處于真空狀況或真空中的零件或外表要求兩個方面。這兩個方面是有密切聯系的。
周圍環境的好壞直接影響真空設備的正常運用;而真空設備的真空室或裝入里面的零件是否清洗,又直接影響設備的功能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和塵土,在真空室沒有通過清洗的情況下用油封機械泵去抽氣,要到達預期的真空度很難的。眾所周知,油封式機械泵不宜抽除對金屬有腐蝕性、對真空油其反響的以含有顆粒塵土的氣體。水蒸氣為可凝性氣體,當大量抽除可凝性氣體時,對泵油的污染會愈加嚴峻,結果使泵的極限真空下降,破壞了泵的抽氣功能。口巨業環境中的粉塵是以粉狀體、眼無題、粉塵來區別的。粉狀體是粉末或固體顆粒的調集或分散狀況的物質。所謂粉末是指細小的固體顆粒的調集,而顆粒是指能夠一個一個計數的細小物質。煙霧體是以固體或液體的細小顆粒呈浮狀況存在于氣體中的物質體系。物質無論是固體還是液體,凡是呈顆粒狀況均可統稱為塵粒。以塵粒直徑的巨細來確定空氣清潔度的規范,從而定制出潔凈室的等級。不僅適合于有潔凈要求的口巨業部門,也適合于真空對潔凈環境的要求。
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