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由于真空退火爐的品種和型式許多，因此保護和檢修的項目各不相同，修補檢查內容應根據爐子技能文件并可按實際需要分為每爐次、每日、每月，每半年和每一年進行的項目。可是有時在使用的時候，真空退火爐會出現故障。那么真空退火爐出現故障的原因有哪些呢？應該怎么處理呢？
1、真空度低：泵油污染、過少或過稀，清洗真空泵，替換新真空泵油。
2、抽氣時間太短：延長抽氣時間。
3、旋片磨損：替換旋片。
4、有漏氣處：抽暇后封閉電源，檢查電磁閥、管接頭、真空泵吸氣閥及工作室周邊密封墊有無漏氣處。
5、真空泵噴油：吸氣閥O型圈掉落，拔下泵嘴上的真空管，卸下抽氣嘴，取出壓簧和吸氣閥，輕輕拉伸O型圈幾回，從頭將其嵌入凹槽內，再設備即可。
6、排氣過濾器堵塞或設備方位不正：清洗或替換排氣過濾器并設備正確。
7、抽氣過濾器堵塞：清洗或替換排氣過濾器。
8、噪音大：真空泵聯軸器磨損或破裂，替換。
9、真空泵漏油：回油閥堵塞，卸下回油閥，清洗。
10、油窗松動：放油后，卸下油窗，纏上生料帶或薄塑料薄膜。
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