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CVD設備
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真空退火爐的開爐及停爐如何操作

2021-08-19 10:46:41

真空退火爐設備主要適用于不銹鋼拉深件如水暖器材、水脹件、銷、醫療器械、不銹鋼釘、不銹鋼鏍絲、壓鉚件、不銹鋼軸承、表殼、表帶、刀具、微型軸、自攻自鉆、餐具等不銹鋼制品在保護氣氛控制下進行連續光亮退火、固溶、退磁及不銹鋼淬火處理的多用爐。

  1.合上電控拒上的總斷路器及柜內各分斷器器。

  2.按下“儀表電源”和“PLC電源”按鈕,將“自動/手動”轉換開頭調到“自動”檔。

  3.將觸摸屏畫面切換到“操作狀態”,按“操作模式”,選擇“手動”,再按“返回”,回到“操作狀態”畫面。

  4.按“滑閥泵”、“確認”,滑閥泵啟動,開始時管道抽真空,1-2分鐘后,按“真空閥”、“確認”,真空閥開,連能管首和爐體。

  5.關注真空測量儀上的真空度變化情況,當面板上的“J1”指示燈亮后,按“羅茨泵”、“確認”,啟動羅茨泵。

  6.當真空儀面板上的“J2”指示燈亮后,表示已達到打開預抽閥的真空度,按“預抽閥”、“確認”,預抽閥打開,隨后按“擴散泵”、“確認”,擴散泵開始加熱,記下開始加熱的時間。

  7.根據工藝要求,在退控儀上設定好升溫曲線。

  8.當擴散泵加熱時間達到1.5小時,且真空儀面板上的“J4”指示燈亮后,按“真空閥”、“確認”,關閉真空閥,再按“擴散泵閥”、“確認”。擴散泵閥開啟后,對爐內抽取高真空。

  9.當真空儀面板上的“J3”指示燈亮后,按“加熱”、“確認”,主回路得電,操作退控儀,爐體將按設定好的升溫曲線開始升溫。

真空退火爐設備

  10.升溫結束后,進入冷卻階段,是否采用快冷依工藝而定,快冷程度如下:

  ⑴按工藝要求調整充氣壓力表的上、下限,調整風機控制壓力表的上、下限,在無紙記錄儀上調好風機啟動溫度。

  ⑵按步驟關閉各真空泵、閥。擴散泵閥→擴散泵→預抽閥→真空閥→羅茨泵→滑閥泵

  ⑶按“充氣閥”、“確定”,充氣閥打開,向爐內充入高純的N2或Ar當爐內壓力接近充氣壓力上限時,關“充氣閥”,打開“微充閥”,直到充氣上限為止。

  ⑷當達到設定的風機啟動溫度后,按“風機”、“確定”風機啟動,爐溫快速冷卻。

  ⑸若熱交換器及風機出水溫度較高,應適應調大其供水閥,以利縮短冷卻時間。

  ⑹當真空退火爐爐溫達到100℃以下,關閉風機,打開擴散泵上部的手動閥,排出爐內氣氛,直至爐壓與大氣壓平衡,方可打開爐門,取出產品。

  11.在自然冷卻方式下,當升溫結束,溫控儀設定的曲線運行完畢后,關閉擴散泵閥→擴散泵,打開真空閥,但預抽閥不關。

  12.滑閥泵及羅茨泵運轉,直到爐溫100℃以下,按下述步驟關閉真空泵、閥。預抽閥→真空閥,→羅茨泵→滑閥泵

  13.打開擴散泵上部的手動閥,使大氣壓進入爐內,直到爐內與大氣壓達到平衡,打開爐門,取出產品。


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